2021-12-09

提起台灣的國際級產業,非半導體莫屬,台積電更被喻為「護國神山」,但,很少人知道,在生產晶片的過程中,非用到一樣東西不可,否則會嚴重影響到品質,甚至連銀樓都少不了它,那就是台灣人聞之而色變的「輻射」。

輻射來源分成兩類,分別是存在於天然環境的自然背景輻射(或稱天然游離輻射),以及人造游離輻射。人造游離輻射的發展雖僅近百年時間,卻在工業、醫療、農業、學術研究、國家安全以及環保方面,帶來強大助益。

可以肯定的說,人造游離輻射的應用十分廣泛,早與人類的生活密不可分。

輻射在工業上的應用,就如同醫院使用X光射線一樣的普遍,可用於檢視金屬鑄件或焊接部位的縫隙及缺陷,通常這些都很難用其他方法偵測出來;也可用於度量極微小的厚度,例如金屬薄片;還可拿來檢視建築物或雕像的結構缺陷。

今天,台積電能製造出全球第一的高質量晶片,也多虧了「人造游離輻射」的應用。晶片的「先進」製程中,一定要用到離子佈植機、靜電消除器,這些都是利用超高電壓產生特定離子,或是低能量X光的游離輻射。

半導體廠將靜電消除器裝置於設備裡,游離輻射可以游離空氣,藉此去除晶圓上面的靜電,假設晶圓表面累積靜電,就會影響後續的量測結果;靜電消除器還可以將空氣中的灰塵帶走,以達到潔淨度的要求。

沒有了人造游離輻射,台積電的產品立馬失去競爭力

出版「身在輻中要知輻—漫談輻射」一書的清大工程與系統科學系教授葉宗洸說,「如果沒有靜電消除器協助維持潔淨度,台積電的晶片良率就會下降;而且有一道工序,一定要用到高端技術的離子佈植機,一台就要上億元,沒有了人造游離輻射,台積電的產品立馬會失去競爭力」。

連面板廠,如友達、群創、瀚宇彩晶等也都會用到靜電消除器,以消除玻璃基板上的靜電,玻璃基板才不會黏在一起。如果沒有靜電消除器,當機械手臂取片時,會將玻璃基板拉破。

中華民國輻射防護協會董事長張似瑮指出,輻射在工業的應用面,實在太廣了,例如香菸製造廠的生產線裝設測定儀,應用所含射源的β(貝他)射線,經射束窗穿透菸支,射向偵檢器,當菸絲密度增加時,吸收的放射線也會增加,偵檢器接收的放射線就會減少,所以從測到的放射線數量,就可決定菸支的密度,再經由系統回饋,控制菸支的重量。連飲料廠的生產線都要裝設液位儀,應用γ(加馬)射線穿透瓶身,以判定內容物的充填液位是否達到要求,具有高效率與正確的功能。

大到如台積電、台灣美光等「先進」製程半導體產業,小到連銀樓、當舖等各行各業都會用到「輻射」。當銀樓買黃金,或當舖收到典當品,想辨別其真偽時,就必須用輻射來分析黃金的純度,以降低被騙的風險。

資料來源引用:https://www.gvm.com.tw/article/85064

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